- [昀通科技动态]【成都】昀通科技半导体紫外光固化机原理及特点[ 2017-11-28 13:57 ]
- 在半导体行业，常用紫外固化机对晶片进行曝光。这种半导体紫外光固化机至少是由用来承载晶片的曝光镜头以及液体循环装置构成，其中液体循环装置在曝光期间为曝光镜头与晶片之间供应液体。其特征在于，半导体UVLED曝光前，UVLED利用至少一对准光源对承载台进行一对准操作，其中对准光源具有一特定波长，使液体挥发时对对准光源的影响降至最低，以防止液体影响前述对准操作。
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